Vorsichtsmaßnahmen für die Verwendung von Vakuumpumpenöl:
① Unter versiegelten Bedingungen ist Vakuumpumpenöl bis zu drei Jahre haltbar.
② Die Ölprodukte sollten an einem kühlen, trockenen Ort gelagert werden.
③ Sobald ein Ölfass zum Gebrauch geöffnet wurde, muss das restliche Öl wieder mit einem Deckel sicher verschlossen werden. Darüber hinaus sollte die restliche Portion schnellstmöglich verzehrt werden; Vermeiden Sie unbedingt eine Vermischung mit anderen pulverförmigen oder flüssigen Verunreinigungen.
④ Die Umgebung und die Werkzeuge sollten sauber gehalten werden; Werden Werkzeuge mit Lösungsmitteln gereinigt, müssen diese vor dem Gebrauch gründlich getrocknet werden.
⑤ Die spezifische Sorte und Qualität des ausgewählten Öls sollte der strukturellen Präzision der Vakuumpumpe und ihrer Betriebsumgebung entsprechen.
Überlegungen zur Auswahl einer Vakuumpumpe:
1. Beurteilen Sie, ob die beim Betrieb der Vakuumpumpe erzeugten Vibrationen Auswirkungen auf den Prozess oder die Umgebung haben. Wenn der Prozess solche Vibrationen nicht verträgt, sollte entweder eine vibrationsfreie Pumpe ausgewählt werden oder es müssen geeignete Antivibrationsmaßnahmen implementiert werden.
2. Verstehen Sie die Zusammensetzung des zu evakuierenden Gases-insbesondere, ob es kondensierbare Dämpfe, Partikelstaub oder korrosive Substanzen enthält. Bei der Auswahl einer Vakuumpumpe ist es wichtig, die Gaszusammensetzung zu kennen, um eine Pumpe auszuwählen, die speziell für die Förderung dieses bestimmten Gases geeignet ist. Wenn das Gas Dämpfe, Partikel oder korrosive Elemente enthält, erwägen Sie die Installation von Zusatzgeräten-wie Kondensatoren oder Staubabscheidern-an der Einlassleitung der Pumpe.
3. Bei ihrem Betriebsdruck muss die Vakuumpumpe in der Lage sein, das gesamte durch den Prozess der Vakuumanlage erzeugte Gasvolumen zu evakuieren.
4. Wählen Sie die passende Kombination von Vakuumpumpen. Da Vakuumpumpen häufig selektive Pumpeigenschaften aufweisen, reicht eine einzelne Pumpe manchmal nicht aus, um die erforderlichen Pumpspezifikationen zu erfüllen. In solchen Fällen müssen mehrere Pumpen kombiniert werden, um sich gegenseitig zu ergänzen und gemeinsam die Anforderungen zu erfüllen. Beispielsweise bietet eine Titan-Sublimationspumpe eine sehr hohe Pumpgeschwindigkeit für Wasserstoff, kann aber kein Helium pumpen; Umgekehrt besitzt eine Sputter-Ionenpumpe vom Trioden--Typ (oder eine asymmetrische Kathoden-Sputter-Ionenpumpe vom Dioden--Typ) eine bestimmte Pumpgeschwindigkeit für Argon. Durch die Kombination dieser beiden Typen kann das Vakuumsystem ein überlegenes Vakuumniveau erreichen. Darüber hinaus können einige Vakuumpumpen nicht direkt bei Atmosphärendruck betrieben werden und erfordern ein Vorvakuum (Vorpumpen); andere haben einen Ausgangsdruck, der unter dem atmosphärischen Druck liegt, und erfordern daher eine Vorvakuumpumpe (Vorpumpe). Daher ist es oft notwendig, eine Kombination von Pumpen zu verwenden, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen.
5. Berücksichtigen Sie die spezifischen Anforderungen der Vakuumausrüstung hinsichtlich Ölverschmutzung. Wenn für die Ausrüstung unbedingt eine ölfreie Umgebung erforderlich ist, sollten verschiedene Arten von ölfreien Pumpen ausgewählt werden, beispielsweise Wasserringpumpen, Molekularsieb-Adsorptionspumpen, Sputter-Ionenpumpen und Kryopumpen. Wenn die Anforderungen weniger streng sind, können ölgedichtete Pumpen gewählt werden; Durch die Einbeziehung von Maßnahmen zur Vermeidung von Ölverunreinigungen-wie dem Hinzufügen von Kühlfallen, Leitblechen oder Ölfallen-können die Anforderungen an ein sauberes Vakuum weiterhin erfüllt werden.